燃燒法主要分為蓄熱式燃燒技術(shù)（RTO）和催化燃燒技術(shù)（RCO）、TO、CO等。其原理是通過(guò)直接燃燒或者添加催化劑進(jìn)行低溫燃燒，利用“燒”將有機(jī)廢氣徹底降解為水和二氧化碳。
燃燒法作為目前處理效率和效果相對(duì)理想的工藝，雖然它的價(jià)格相對(duì)昂貴且運(yùn)行費(fèi)用不低，但已被大部分專家和部分地市環(huán)境主管部門認(rèn)可，甚至制定為主要治理工藝，但VOCs治理涉及行業(yè)眾多，市面上從數(shù)量上來(lái)講，或許不到1%的用戶有條件考慮焚燒工藝，此工藝投資大，運(yùn)維成本高。
（一）非催化類燃燒
因蓄熱燃燒（RTO）方式的燃燒室內(nèi)溫度一般不低于750度，特別是TO爐甚至高達(dá)1000度，因此，會(huì)產(chǎn)生燃料型氮氧化物。氮氧化物按生成機(jī)理的不同分為三類：熱力型、快速型和燃料型，其中燃料型占60%_95%。在生成燃料型NOx過(guò)程中，首先是含有氮的有機(jī)化合物或空氣中的氮?dú)饨?jīng)過(guò)熱裂解產(chǎn)生N，CN，HCN和等中間產(chǎn)物基團(tuán)，然后再氧化成NOx。
因此，非催化燃燒所需的燃燒溫度較高，雖然高溫有利于VOCs 的去除，但同時(shí)會(huì)產(chǎn)生一些不良的后果：像直接燃燒法，燃燒溫度過(guò)高會(huì)導(dǎo)致煙氣中產(chǎn)生二次污染；對(duì)于蓄熱式熱力燃燒法，燃燒溫度過(guò)高容易導(dǎo)致切換閥門等精密部件損壞。
（二）催化類燃燒
在有機(jī)廢氣的催化燃燒（RCO）工藝中，若采用自來(lái)水作為水噴淋進(jìn)行預(yù)處理，水中的氯離子及有機(jī)物質(zhì)自帶的氯離子在催化燃燒室內(nèi)（200~500度）極易生成二噁英。
而VOCs處理設(shè)備上均無(wú)高溫高溫裝置用于促使二噁英的分解，因此，氣體在燃燒過(guò)程中產(chǎn)生的二噁英將直接排放至到大氣。再者，又因催化劑的存在，所以對(duì)VOCs廢氣組成要求較高，當(dāng)廢氣中含有粉塵、水蒸氣和S、Cl 等元素時(shí)容易導(dǎo)致催化劑堵塞、中毒、失活。
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